國(guó)儀量子超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡-掃描電鏡SEM4000Pro
SEM4000超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡是一款分析型熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,配備了高亮度、長(zhǎng)壽命的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍。三級(jí)磁透鏡設(shè)計(jì),束流大且連續(xù)可調(diào),在EDS、EBSD、WDS等應(yīng)用上具有明顯優(yōu)勢(shì)。支持低真空模式,可直接觀察導(dǎo)電性弱或不導(dǎo)電樣品。標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式,以及直觀的操作界面,讓您的分析工作倍感輕松。
掃描電子顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)
01 配備高亮度、長(zhǎng)壽命的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
02 分辨率高,30 kV下優(yōu)于0.9 nm的極限分辨率
03 三級(jí)磁透鏡設(shè)計(jì),束流可調(diào)范圍大,最大支持 200 nA 的分析束流
04 標(biāo)配低真空模式,以及高性能的低真空二次電子探測(cè)器和插入式背散射電子探測(cè)器
05 無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì),可直接觀察磁性樣品
06 標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式,中文操作軟件,讓分析工作更輕松
掃描電子顯微鏡應(yīng)用案例
掃描電子顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)
關(guān)鍵參數(shù) | 高真空分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV,SE |
低真空分辨率 | 2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa |
1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa |
加速電壓 | 200 V ~ 30 kV |
放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x |
電子槍類型 | 肖特基熱場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
樣品室 | 真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)控制 |
低真空模式 | 最大180 Pa |
攝像頭 | 雙攝像頭 |
(光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控) |
行程 | X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm |
T: -10°~+70°,R: 360° |
探測(cè)器和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 | 旁側(cè)二次電子探測(cè)器(ETD) |
低真空二次電子探測(cè)器(LVD) |
插入式背散射電子探測(cè)器(BSED) |
選配 | 能譜儀(EDS) |
背散射衍射(EBSD) |
插入式掃描透射探測(cè)器(STEM) |
樣品交換倉(cāng) |
軌跡球&旋鈕控制板 |
軟件 | 語(yǔ)言 | 中文 |
操作系統(tǒng) | Windows |
導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航 |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |